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1 解説
真空中で電子ビームを放出し、工作物表面に衝突時に発生する熱エネルギーを用いて、穴あけ、溶接、表面処理を行う加工法である。特徴は次のようである。
@スポット径を小さくでき、微細加工が可能である。
A真空中の加工で工作物表面の酸化がなく、クリーンな加工ができる。
B高融点材の加工が可能である。
ただし、真空チャンバーの制約で工作物の大きさが制限されたり、電源が大容量となり高価なのが欠点である。
2 所見
特になし
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