ぷろえんじにあ
TRIZ＆MOT学習のための技術・経営キーワードリスト TOP
1 解説
光学的精密加工には､レーザーによる加工､溶接および半導体等に用いられる露光がある｡その各々の特徴を以下に述べる｡
(1) レーザー加工
① 非接触加工のため､切屑や騒音がない｡
② 電子ビーム加工が真空中で行うのに対し､レーザー加工は空気中で加工可能である｡集光や位置制 御も容易である｡
③ 金属､セラミックス､木材､プラスチックスなど､あらゆる材料を加工可能である｡
(2) レーザー溶接
① レーザービームは高エネルギー密度であるため､材料に与える影響は小さい｡
② セラミックスのような非金属にも､条件を選べば溶接可能である｡
(3) 露光
① フォトレジストとエッチング､ステッパーを組合せて､ウェハ上に､超精密な加工が可能である｡
② 紫外光を用いた化学的処理加工である｡
2 所見
レーザー加工は､CO2 レーザーからYAGレーザー､そして半導体レーザーまたはエキシマレーザーまで利用できるようになり､用途に応じて品質､コストの最適なものを選択すればよい｡その場合の留意点は安全性の確保であり､今後の課題は､装置の小型化である｡