ぷろえんじにあ
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1 解説
超音波顕微鏡は、サーキュレータを介して超音波を送受信し､非破壊で表面または内部欠陥を検査するものである｡周波数10～100MHzのインパルス音波を用いたものと周波数100～2GHzのバースト音波を用いたものがある｡前者は数mm程度の深さまで測定可能で､主にモールドIC やプラスチックスの内部欠陥検査に使用されている｡後者は試料表面および直下に限られるが､高精度で､LSI､結晶､薄膜等の検査､研究開発などに使用されている｡
その特徴として､次のようなことがあげられる｡
① 非破壊検査で試料表面から内部欠陥まで幅広く測定可能である｡
② 試料材質に制約がない｡
③ 光学顕微鏡で必要なエッチングが不要である｡
④ 空気中の測定では､音波が減衰するため､液体中で測定する｡
2 所見
最近では､光学顕微鏡に匹敵する分解能と10mmにおよぶ観察深さを実現できるようになってきた｡そのため､IC ､金属材料､新素材､薄膜等に広く用いられている｡それに加えて､材料の残留応力の測定等､新用途も開拓でき､非常に応用範囲の広い検査装置であるため､さらに普及が拡大していくと予測する｡